真空分子泵是一种常用于高真空系统的抽真空设备，它通过电磁排斥作用来实现气体分子的高速抽运。下面将为您详细介绍真空分子泵的工作原理、应用领域以及选型指南。1. 工作原理真空分子泵主要由转子、静子和泵壳组成。转子和静子之间有一定的间隙，当泵启动时，转子高速旋转，气体分子在离心力和电磁排斥力的作用下逐渐被抽运出真空室。真空分子泵的抽速可以达到几百到几万升/秒，主要用于高真空范围内（10^3 Pa至10^9 Pa）的气体抽取。2. 应用领域真空分子泵广泛应用于以下领域： 真空冶金：用于熔炼、热处理和涂层等过程中的真空抽取。 半导体制造：在半导体制造过程中，需要高真空环境进行各种工艺步骤，如蚀刻、沉积和…